Aurinkosähkökeraamiset suuttimet ovat tarkkuuskeraamisia osia kaasun jakeluun ja kemikaalien ruiskutukseen aurinkosähkön valmistuksessa. Niitä käytetään CVD- ja PECVD-laitteissa, märkä-etsausjärjestelmissä ja niihin liittyvissä toimituskokoonpanoissa, joissa suutin on osa prosessin -nestepolkua.

Keskeiset edut

Poraustarkkuus ±0,01 mm

Reiän halkaisijan tarkkuus on ±0,01 mm. Monisuuttimessa kaasun tai nesteen jakelukokoonpanossa jokaisen kulun ohjaaminen tälle alueelle vähentää suuttimien välistä vaihtelua ja tukee johdonmukaisempaa virtausta ryhmän läpi.

Ra Pienempi tai yhtä suuri kuin 0,2 μm sisäpinta

Sisäpinnan karheus on Ra pienempi tai yhtä suuri kuin 0,2 μm. Tasaisempi seinä jättää vähemmän kohtia hiukkasten tai kemikaalijäämien kerääntymiselle kapeiden käytävien sisään, mikä auttaa hidastamaan virtausreitin asteittaista rajoittamista.

Kuuma ja syövyttävä prosessikirjekuori

Suurin käyttölämpötila on 1200 astetta tai 1500 astetta valitusta keramiikasta riippuen, ja suuttimet on määritelty kestämään useimpia happamia ja emäksisiä kaasuja. Materiaalivalinta voi siis perustua sekä käyttölämpötilaan että prosessiväliaineeseen.

Räätälöinti

Materiaali

Materiaalivalinnat ovat 99 % alumiinioksidia ja piikarbidia.

Pituus ja asennusliitäntä

Kokonaispituus tehdään asiakkaan piirustuksen mukaan. Hartiat, laipat, asennusreiät ja muut paikannustiedot voidaan lisätä vastaamaan laitteen käyttöliittymää.

Poisto- ja virtausgeometria

Hyväksytty piirustus tai prototyyppi voi määrittää porauksen asettelun, ulostulon suunnan, ruiskutusgeometrian ja monireiän kokoonpanot.

Tekniset tiedot

Parametri	Erittely
Materiaalityypit	99 % alumiinioksidia, piikarbidia
Poran halkaisijan tarkkuus	±0,01 mm
Sisäpinnan karheus (Ra)	Pienempi tai yhtä suuri kuin 0,2 μm
Suuttimen pituus	Asiakkaan piirustuksen mukaan
Max. Käyttölämpötila	1200 astetta (alumiinioksidi) / 1500 astetta (piikarbidi)
Korroosionkestävyys	Kestää useimpia happamia ja emäksisiä kaasuja

Laadunvalvonta

Poran koko tarkistetaan koneistuksen jälkeen. Sisäinen kanava tarkastetaan myös tukkeutumisen, reunavaurioiden ja pintaolosuhteiden varalta, ennen kuin suutin siirtyy toimintavarmennukseen.

Flow-testaus vahvistaa, että valmis kulku on avoin ja tuottaa johdonmukaisen kanavan. Ulkomitat, asennustiedot ja tiivistys- tai sijoituspinnat tarkastetaan erikseen piirustuksesta.

Ennen pakkaamista suuttimien ulkonäkö, hyväksytty määrä ja puhtaus tarkistetaan. Tarkastusasiakirjat säilyvät erän mukana, kolmannen osapuolen tarkastus voidaan järjestää, ja suuttimien kärjet ja tarkkuuspinnat erotetaan pakkauksesta.